Автоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катодом и катодным распылением рабочего вещества: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук:(05.13.07) / Моск.инж.-физ.ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Касьянов, А. А. |
| Опубликовано: | М. , 1993 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||