Формирование и релаксация напряженно-деформированного состояния кремния при изготовлении изделий электронной техники: Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Науч.-произв. об-ние "Интеграл", Гос. центр физ.-техн. исслед. и техн. экспертизы

Сохранено в:
Шифр документа: 26Ад715,
Вид документа: Диссертации
Автор: Сологуб, Л. В.
Опубликовано: Мн. , 1994
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004id4500
001 BY-NLB-br167091
005 20170525103712.0
100 # # $a 19971031d1994 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y m 000yy 
106 # # $a h 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Формирование и релаксация напряженно-деформированного состояния кремния при изготовлении изделий электронной техники  $e Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.07  $f Науч.-произв. об-ние "Интеграл", Гос. центр физ.-техн. исслед. и техн. экспертизы 
210 # # $a Мн.  $d 1994 
300 # # $a Библиогр.: л. 286-298 (157 назв.) Для служеб. пользования. Экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52674  $a НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35849  $a ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17343  $a ЭЛЕКТРОННЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52675  $a НАПРУЖАНА-ДЭФАРМАВАНЫ СТАН  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35850  $a ФІЗІКА ЦВЁРДАГА ЦЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39076  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2420682  $a РЕЛАКСАЦИЯ (физ.)  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.002.3  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.09.39  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-402104  $a Сологуб  $b Л. В.  $g Людмила Владимировна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19971031  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/26ad715.pdf