Формирование и релаксация напряженно-деформированного состояния кремния при изготовлении изделий электронной техники: Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Науч.-произв. об-ние "Интеграл", Гос. центр физ.-техн. исслед. и техн. экспертизы
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сологуб, Л. В. |
| Опубликовано: | Мн. , 1994 |
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||