|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br164604 |
| 005 |
20070615190621.1 |
| 100 |
# |
# |
$a 19970613d1993 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$e 05.27.01
$f Рос. АН, Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов
|
| 210 |
# |
# |
$a Черноголовка
$d 1993
|
| 215 |
# |
# |
$a 20 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 18-20 (12 назв.)
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.33
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-440134
$a Коваль
$b Ю. И.
$g Юрий Иванович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19970613
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
