Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Рос. АН, Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коваль, Ю. И. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1993 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||