Моделирование и разработка технологических процессов и маршрутов формирования самосовмещенных биполярных транзисторных структур для сверхбыстродействующих СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Моск. гос. ин-т электрон. техники(Техн. ун-т)
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Муратчаев, С. А. |
| Publié: | М. , 1994 |
| Description matérielle: |
24 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||