Моделирование и разработка технологических процессов и маршрутов формирования самосовмещенных биполярных транзисторных структур для сверхбыстродействующих СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Моск. гос. ин-т электрон. техники(Техн. ун-т)
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Муратчаев, С. А. |
| Published: | М. , 1994 |
| Physical Description: |
24 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||