|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br162895 |
| 005 |
20070615190602.4 |
| 100 |
# |
# |
$a 19930101d1994 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Моделирование и разработка технологических процессов и маршрутов формирования самосовмещенных биполярных транзисторных структур для сверхбыстродействующих СБИС
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.01
$f Моск. гос. ин-т электрон. техники(Техн. ун-т)
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1994
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 23-24 (9 назв.)
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.35.47
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.29
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-437136
$a Муратчаев
$b С. А.
$g Султанхан Абдулвагабович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
