Исследование и разработка двухкоординатных систем прецизионного перемещения в вакуумных корпускулярно-лучевых установках: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.13.05 / С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Давыдов, В. Н. |
Опубликовано: | СПб. , 1993 |
Физические характеристики: |
16 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|