Влияние термообработок в водороде на эволюцию примесно-дефектной подсистемы кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Моск. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шокина, Д. И. |
| Опубликовано: | М. , 1996 |
| Физические характеристики: |
14 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||