Исследование источников неравновесной плазмы на основе СВЧ разрядов, предназначенных для осаждения алмазных пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.08 / Колданов Владимир Александрович
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Колданов, В. А. |
Опубликовано: | Нижний Новгород , 2006 |
Физические характеристики: |
15 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|