Сильноточные источники ионов низких энергий для модификации поверхности и синтеза тонкопленочных структур: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: защищена 26.01.06: утверждена 05.04.06: 05.27.06 / Котов Дмитрий Анатольевич

Сохранено в:
Шифр документа: 26Ад6651,
Вид документа: Диссертации
Автор: Котов, Д. А.
Опубликовано: Минск , 2005
Физические характеристики: 185 л.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004id4500
001 BY-NLB-br1542173
005 20230526110745.0
100 # # $a 20060704d2005 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 000yy 
106 # # $a h 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Сильноточные источники ионов низких энергий для модификации поверхности и синтеза тонкопленочных структур  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e защищена 26.01.06  $e утверждена 05.04.06  $e 05.27.06  $f Котов Дмитрий Анатольевич 
210 # # $a Минск  $d 2005 
215 # # $a 185 л. 
300 # # $a Библиография: л. 167-180. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23928  $a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12162  $a ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12446  $a ИСТОЧНИКИ ИЗЛУЧЕНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20756  $a НИЗКИЕ ЭНЕРГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34176  $a ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23929  $a ПАВЕРХНЕВАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12163  $a ІОННА-ПРАМЯНЁВАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12447  $a КРЫНІЦЫ ВЫПРАМЕНЬВАННЯЎ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20757  $a НІЗКІЯ ЭНЕРГІІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-SEK-ar1638614  $a МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 537.534.2(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.35.39  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-379461  $a Котов  $b Д. А.  $g Дмитрий Анатольевич  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060704  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061111  $g psbo 
856 4 9 $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/26AD6651.pdf