Сильноточные источники ионов низких энергий для модификации поверхности и синтеза тонкопленочных структур: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: защищена 26.01.06: утверждена 05.04.06: 05.27.06 / Котов Дмитрий Анатольевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Котов, Д. А. |
| Опубликовано: | Минск , 2005 |
| Физические характеристики: |
185 л.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||