Влияние характеристик расплава на условиях кристаллизации и свойства выращиваемых кристаллов кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.16.03 / Егоров Сергей Геннадьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад162393,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Егоров, С. Г.
Опубликовано: Запорожье , 2006
Физические характеристики: 21 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br1538874
005 20101027144335.0
100 # # $a 20060512d2006 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ua 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Влияние характеристик расплава на условиях кристаллизации и свойства выращиваемых кристаллов кремния  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.16.03  $f Егоров Сергей Геннадьевич  $g Запорожская государственная инженерная академия 
210 # # $a Запорожье  $d 2006 
215 # # $a 21 с. 
300 # # $a Аннотация на русском, украинском, английском языках 
300 # # $a Библиография: с. 15-17 (17 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27407  $a РАСПЛАВЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15212  $a КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18851  $a МОНОКРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar42268  $a ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24589  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15213  $a КРЫШТАЛІЗАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18852  $a МОНАКРЫШТАЛІ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti 
686 # # $a 53.03.05  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.16.03  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-595111  $a Егоров  $b С. Г.  $g Сергей Геннадьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060512  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061111  $g psbo