Влияние характеристик расплава на условиях кристаллизации и свойства выращиваемых кристаллов кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.16.03 / Егоров Сергей Геннадьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Егоров, С. Г. |
| Опубликовано: | Запорожье , 2006 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||