Электронная Оже-спектроскопия для исследования и контроля технологии СБИС: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра физ.-мат.наук:(01.04.10) / Моск.ин-т электрон.техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Игнатьев, А. С. |
| Опубликовано: | М. , 1993 |
| Физические характеристики: |
45 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||