Исследование диэлектрической системы "неоднородная пленка-однородная подложка" эллипсометрическим методом: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.01 / Рос. АН, Ин-т аналит. приборостроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шептунов, О. А. |
| Опубликовано: | СПб. , 1993 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||