Метод фотоЭДС в РЭМ и его применение для диагностики кремниевых структур: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / Всерос. н.-и. центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кибалов, Д. С. |
| Опубликовано: | М. , 1993 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||