|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
001 |
BY-NLB-br150655 |
005 |
20070615190343.6 |
100 |
# |
# |
$a 19930101d1993 u y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
105 |
# |
# |
$a y m 001 y
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Закономерности фазообразования в имплантированном ионами кремнии
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-матем. наук
$e 01.04.10
$f Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т)
|
210 |
# |
# |
$a М.
$d 1993
|
215 |
# |
# |
$a 36 с.
|
300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 33-36 (31 назв.)
|
686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-414543
$a Данилин
$b А. Б.
$g Алексей Борисович
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|