Закономерности фазообразования в имплантированном ионами кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-матем. наук: 01.04.10 / Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Данилин, А. Б. |
| Опубликовано: | М. , 1993 |
| Физические характеристики: |
36 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||