Синтез тонких пленок нитрида алюминия с заданными оптическими и электрофизическими свойствами: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 01.04.14 / Рос. АН, Ин-т высоких температур
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Жиляков, Л. А. |
| Publicado: | М. , 1993 |
| Descripción Física: |
22 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||