Синтез тонких пленок нитрида алюминия с заданными оптическими и электрофизическими свойствами: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 01.04.14 / Рос. АН, Ин-т высоких температур
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Жиляков, Л. А. |
| Опубликовано: | М. , 1993 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||