Синтез тонких пленок нитрида алюминия с заданными оптическими и электрофизическими свойствами: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 01.04.14 / Рос. АН, Ин-т высоких температур
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Жиляков, Л. А. |
| Wydane: | М. , 1993 |
| Opis fizyczny: |
22 с.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||