Синтез тонких пленок нитрида алюминия с заданными оптическими и электрофизическими свойствами: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 01.04.14 / Рос. АН, Ин-т высоких температур
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Жиляков, Л. А. |
| Опубликовано: | М. , 1993 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000004ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-br150622 | ||
| 005 | 20070615190337.7 | ||
| 100 | # | # | $a 19930101d1993 u y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 105 | # | # | $a y m 001 y |
| 109 | # | # | $a ac $a aa |
| 200 | 1 | # | $a Синтез тонких пленок нитрида алюминия с заданными оптическими и электрофизическими свойствами $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e 01.04.14 $f Рос. АН, Ин-т высоких температур |
| 210 | # | # | $a М. $d 1993 |
| 215 | # | # | $a 22 с. |
| 686 | # | # | $a 01.04.14 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $3 BY-SEK-413673 $a Жиляков $b Л. А. $g Лев Альбертович |
| 801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 19930101 $g psbo |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20060316 $g psbo |