Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.21 / Рос. АН, Ин-т общей физики
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Кузмичев, А. В. |
| Апублікавана: | М. , 1995 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
23 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||