Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.21 / Рос. АН, Ин-т общей физики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кузмичев, А. В. |
| Опубликовано: | М. , 1995 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||