|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br147387 |
| 005 |
20160106095541.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19930101d1995 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$e 01.04.21
$f Рос. АН, Ин-т общей физики
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1995
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 22 (7 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar26797
$a РАДИОАКТИВНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar26798
$a РАДЫЕАКТЫЎНАЕ ВЫПРАМЕНЬВАННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2657083
$a ЭКСИМЕРНЫЕ ЛАЗЕРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2657084
$a ЭКСІМЕРНЫЯ ЛАЗЕРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11554
$a ИМПУЛЬСНЫЕ СИГНАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a хлорсодержащий
|
| 610 |
0 |
# |
$a процессы травления
|
| 610 |
0 |
# |
$a хлоразмяшчальны
|
| 610 |
0 |
# |
$a працэсы траўлення
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.33.47
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.21
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-406719
$a Кузмичев
$b А. В.
$g Андрей Валентинович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
