Разработка методов прямого элементного анализа высокочистых веществ для микроэлектроники и природных объектов с помощью лазерной ионизационной спектрометрии: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.хим.наук: 02.00.02 / Ташк.гос.ун-т

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад6844,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Халманов, А. Т.
Опубликовано: Ташкент , 1995
Физические характеристики: 23с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br146241
005 20231005115510.0
100 # # $a 19930101d1995 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка методов прямого элементного анализа высокочистых веществ для микроэлектроники и природных объектов с помощью лазерной ионизационной спектрометрии  $e Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.хим.наук  $e 02.00.02  $f Ташк.гос.ун-т 
210 # # $a Ташкент  $d 1995 
215 # # $a 23с. 
300 # # $a Библиогр.:c.20-22(8 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar31478  $a СПЕКТРАМЕТРЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar31477  $a СПЕКТРОМЕТРИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15673  $a ЛАЗЕРНАЯ ИОНИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22186  $a ОСОБО ЧИСТЫЕ ВЕЩЕСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.35.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 02.00.02  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-404372  $a Халманов  $b А. Т.  $g Актам Тошкуватович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo