Исследование и разработка методов магнитного управления процессом осаждения покрытий из плазмы вакуумно-дугового разряда: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук: 05.27.02 / Санкт-Петербург.гос.электротехн.ун-т им.В.И.Ульянова(Ленина)

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад7110,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Лисенков, А. А.
Опубликовано: СПб. , 1995
Физические характеристики: 16с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br145589
005 20231116102549.0
100 # # $a 19930101d1995 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование и разработка методов магнитного управления процессом осаждения покрытий из плазмы вакуумно-дугового разряда  $e Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук  $e 05.27.02  $f Санкт-Петербург.гос.электротехн.ун-т им.В.И.Ульянова(Ленина) 
210 # # $a СПб.  $d 1995 
215 # # $a 16с. 
300 # # $a Библиогр.:с.15-16(17назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23641  $a ПЛАЗМА (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23642  $a ПЛАЗМА (фіз.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4412344  $a ПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2510155  $a МАГНИТНОЕ УДЕРЖАНИЕ ПЛАЗМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22114  $a ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
610 0 # $a вакуумные дуговые разряды 
610 0 # $a вакуумныя дугавыя разрады 
686 # # $a 29.27.07  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.02  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2655681  $a Лисенков  $b А. А.  $g Александр Аркадьевич  $c доктор технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo