Исследование и разработка методов магнитного управления процессом осаждения покрытий из плазмы вакуумно-дугового разряда: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук: 05.27.02 / Санкт-Петербург.гос.электротехн.ун-т им.В.И.Ульянова(Ленина)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лисенков, А. А. |
| Опубликовано: | СПб. , 1995 |
| Физические характеристики: |
16с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||