Разработка технологии создания металлизации твердотельных электронных устройств с помощью селективного химического осаждения низкоомных металлов из водных растворов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, микроэлектроника / Лопатин Сергей Дмитриевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лопатин, С. Д. |
| Опубликовано: | Минск , 1994 |
| Физические характеристики: |
14, [1] с., включая обложку
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||