Воздействие радиационных дефектов на диффузию фосфора в имплантированном кремнии.: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.физ.-мат.наук:(01.04.10) / БГУ
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Хаки, И. Х. |
| Опубликовано: | Мн. , 1993 |
| Физические характеристики: |
14с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 1 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||