|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br141361 |
| 005 |
20220414180906.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19930101d1993 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Моделирование процесса фотостимулированного травления кремния в среде хлора.
$e Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук:(05.27.01)
$f Минск.радиотехн.ин-т
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1993
|
| 215 |
# |
# |
$a 18с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.:с.16-18(15 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrrb
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-388722
$a Сытов
$b И. П.
$g Игорь Павлович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br141361&fileID=386609
|
