Моделирование процесса фотостимулированного травления кремния в среде хлора.: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук:(05.27.01) / Минск.радиотехн.ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сытов, И. П. |
| Опубликовано: | Мн. , 1993 |
| Физические характеристики: |
18с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 0 | Недоступно (См. ссылку на электронный ресурс) | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||