|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br140960 |
| 005 |
20200324093706.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19930101d1993 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a y km 001yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100 - 2000эВ
$e Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук:(05.27.06)
$f Мин.радиотехн.ин-т
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1993
|
| 215 |
# |
# |
$a 20 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с.19-20 (12 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34175
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 nsnrrb
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11.
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637784
$a Свадковский
$b И. В.
$g Игорь Витальевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br140960&fileID=376248
|
