|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br140678 |
| 005 |
20240118101645.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19930101d1993 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a y km 001yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Влияние физико-химических параметров ионно-плазменного осаждения на структуру пленок нитридов ниобия и титана
$e Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.физ-мат.наук:(02.00.04)
$f Рос.АН,Урал.отд-ние,Ин-т химии тверд.тела
|
| 210 |
# |
# |
$a Екатеринбург
$d 1993
|
| 215 |
# |
# |
$a 21с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.:с.21(11 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20784
$a НИТРИД ТИТАНА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1787323
$a НИТРИД НИОБИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a ионно-плазменное осаждение
|
| 610 |
0 |
# |
$a іённа-плазменнае асаджэнне
|
| 675 |
# |
# |
$a 541.11(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.25
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 02.00.04
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-386363
$a Шалаева
$b Е. В.
$g Елизавета Викторовна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
