Влияние физико-химических параметров ионно-плазменного осаждения на структуру пленок нитридов ниобия и титана: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.физ-мат.наук:(02.00.04) / Рос.АН,Урал.отд-ние,Ин-т химии тверд.тела
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шалаева, Е. В. |
| Опубликовано: | Екатеринбург , 1993 |
| Физические характеристики: |
21с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||