|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br12751 |
| 005 |
20210810092926.0 |
| 020 |
# |
# |
$a ru
$b 93-11859
|
| 100 |
# |
# |
$a 19930724d1992 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a j 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ga
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология многослойных структур для микроэлектроники
$e Разд.: Терм. и электролит. методы получения оксид. пленок: Курс лекций для студентов спец.20.02
$f В. В. Овчинников, А. С. Тимошин, В. В. Крапухин
$g Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1992
|
| 215 |
# |
# |
$a 88 с.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 87-88 (14 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 160 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1610018
$a ПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18371
$a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33564
$a ТЕРМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33565
$a ТЭРМІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
$2 DVNLB
|
| 608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2286649
$a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ
$2 BYGNR
|
| 608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar5183659
$a КУРС ЛЕКЦИЙ
$2 BYGNR
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002.3(075.8)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.63
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-166877
$a Овчинников
$b В. В.
$g Валерий Васильевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Тимошин
$b А. С.
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-205681
$a Крапухин
$b В. В.
$g Всеволод Валерьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930724
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060314
$g psbo
|
