Технология многослойных структур для микроэлектроники: Разд.: Терм. и электролит. методы получения оксид. пленок: Курс лекций для студентов спец.20.02 / В. В. Овчинников, А. С. Тимошин, В. В. Крапухин
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Овчинников, В. В. |
| Опубликовано: | М. , 1992 |
| Физические характеристики: |
88 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||