| 提示: |
В надзаг.: Ком Рос. Федерации по оборон. отраслям пром-сти, Гл. упр. пром-сти средств связи, Центр. науч.-исслед. технол. ин-т, Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Мар. политехн. ин-т им. А.М.Горького, Учеб.-науч.-произв. центр "Поиск", Рос. акад. наук, Ин-т физ. химии, Акад. технол. наук Рос. Федерации, Проблем. Совет "Высокие технологии машиностроения и электрон. приборостроения", Сектор "Высокие технологии в обл. тонких пленок в электронике", АО "Дигазкрон"
Библиогр. в конце докл.
300 экз.
|
