Формирование золь-гель методом функциональных слоев для микро- и оптоэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: специальность 01.04.07
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Семченко, А. В. |
Опубликовано: | Минск , 2024 |
Физические характеристики: |
45 с.
|
Язык: | Русский |
Е-документ: |
E-документ
|