Фундаментальные основы плазменных технологий структурирования для наноэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: специальность 2.2.2
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мяконьких, А. В. |
| Опубликовано: | Москва , 2024 |
| Физические характеристики: |
46 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000003ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-br0001961497 | ||
| 005 | 20241226110153.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20241226d2024 |||||rus|50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Фундаментальные основы плазменных технологий структурирования для наноэлектроники $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук $e специальность 2.2.2 |
| 210 | # | # | $a Москва $d 2024 |
| 215 | # | # | $a 46 с. |
| 320 | # | # | $a Библиография: с. 35―46 |
| 675 | # | # | $a 5 $v 4 |
| 700 | # | 1 | $a Мяконьких $b А. В. $g Андрей Валерьевич |
| 801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20241226 $g RCR |