Фундаментальные основы плазменных технологий структурирования для наноэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: специальность 2.2.2
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мяконьких, А. В. |
| Опубликовано: | Москва , 2024 |
| Физические характеристики: |
46 с.
|
| Язык: | Русский |