Физико-технологические решения создания межсоединений металлизации высокотемпературных кремниевых ИС на основе сплавов вольфрама: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств / Тимаков Алексей Валерьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Тимаков, А. В. |
| Опубликовано: | Москва , 2024 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |