Влияние ионной бомбардировки на структуру и электрические свойства тонких пленок металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств / Селюков Роман Вячеславович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Селюков, Р. В. |
| Опубликовано: | Ярославль , 2024 |
| Физические характеристики: |
25 с. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |