Фазовые превращения в сверхтонких слоях материалов наноэлектроники на основе HfO2 и Si, имплантированного He+: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.8 Физика конденсированного состояния / Чесноков Юрий Михайлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чесноков, Ю. М. |
| Опубликовано: | Москва , 2024 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||