|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001919855 |
| 005 |
20240827165119.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20240529d2024 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
$d bel
$d rus
$d eng
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Повышение качества разделения полупроводниковых пластин и подложек материалов электронной техники на кристаллы путем адаптивного управления прецизионными приводами оборудования
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.02.02 Машиноведение, системы приводов и детали машин
$f Ковенский Алексей Евгеньевич
$g Государственное научное учреждение "Объединенный институт машиностроения Национальной академии наук Беларуси"
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 2024
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c ил., цв. ил.
|
| 300 |
# |
# |
$a Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 20―21 (20 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39076
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24588
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24620
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar27847
$a РЕЗКА (технол. процесс)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3335454
$a ПОВЫШЕНИЕ КАЧЕСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33890
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6167885
$a ПРЕЦИЗИОННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25440
$a ПРИВОДЫ (техн.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1801
$a АДАПТИВНОЕ УПРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2113377
$a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.38-03:621.315.592:621.961.2(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.961.2.06-52(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.19.13
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.16.23
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.01.85
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.02.02
$2 nsnrrb
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-CNB-ar2423189
$a Ковенский
$b А. Е.
$g Алексей Евгеньевич
$c электронная техника
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar2492220
$a Объединенный институт машиностроения
$c Минск
$4 595
$4 995
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20240529
$g RCR
|
| 830 |
# |
# |
$a 20.06.2024
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer/?markID=BY-NLB-br0001919855&fileID=11980894
|
