Повышение качества разделения полупроводниковых пластин и подложек материалов электронной техники на кристаллы путем адаптивного управления прецизионными приводами оборудования: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.02.02 Машиноведение, системы приводов и детали машин / Ковенский Алексей Евгеньевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ковенский, А. Е. |
| Опубликовано: | Минск , 2024 |
| Физические характеристики: |
24 с. : ил., цв. ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||