Влияние ионно-плазменной обработки на остаточные механические напряжения в тонких поликристаллических пленках металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.8 Физика конденсированного состояния / Бабушкин Артем Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//257831(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Бабушкин, А. С.
Опубликовано: Ярославль , 2024
Физические характеристики: 26 с. : ил., цв. ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001914449
005 20240718103921.0
100 # # $a 20240502d2024 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Влияние ионно-плазменной обработки на остаточные механические напряжения в тонких поликристаллических пленках металлов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 1.3.8 Физика конденсированного состояния  $f Бабушкин Артем Сергеевич  $g Ярославский Филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Физико-технологического института им. К. А. Валиева РАН Национального исследовательского центра "Курчатовский институт" 
210 # # $a Ярославль  $d 2024 
215 # # $a 26 с.  $c ил., цв. ил., табл. 
320 # # $a Библиография: с. 23—26 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130678  $a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3171255  $a ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60038  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82688  $a ОСТАТОЧНЫЕ НАПРЯЖЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1578239  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.03  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.13  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.21  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 1.3.8.  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar14725760  $a Бабушкин  $b А. С.  $g Артем Сергеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20240502  $g RCR