Влияние ионно-плазменной обработки на остаточные механические напряжения в тонких поликристаллических пленках металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.8 Физика конденсированного состояния / Бабушкин Артем Сергеевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Бабушкин, А. С. |
Опубликовано: | Ярославль , 2024 |
Физические характеристики: |
26 с. : ил., цв. ил., табл.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|